仪器信息
仪器中文名称 电子束曝光系统
仪器编号 15024617
仪器类别 仪器仪表
院(系) 电子科学与工程学院
使用单位或实验室名称 电磁波特征信息调控技术实验室
规格型号 Raith EBPG 5200
购置日期 2015-09-01
单价(万元) 1560
厂家 Raith
主要技术指标
应用技术领域 A 信息技术;H 先进制造;
学科领域 工程与技术科学基础学科
主要功能 各种碎片、2英寸、3英寸、4英寸、6英寸、8英寸基片微纳米图形的直写,最小线宽<10 nm, 是制备各种纳米结构的高端工具。
特色功能 各种碎片、2英寸、3英寸、4英寸、6英寸、8英寸基片微纳米图形的直写,最小线宽<10 nm, 是制备各种纳米结构的高端工具。
主要附件
样品要求或共享须知
自主创新研制所需关键技术
收费标准 3700
仪器状态 使用 
使用人 涂学凑
共享模式
仪器地点 仙林电子楼微加工中心
仪器管理员
序号 姓名 联系电话 电子邮箱
1 涂学凑 tuxuecou@nju.edu.cn
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